ОБЩИЕ ПРАВИЛА ЭКРАННОГО ДИАЛОГА.

5.1. Весь экран разделен на 5 информационных зон (см. рис. 2):

1 - верхняя строка - клавиши выбора меню (страниц отображения информации);

2- вторая строка - отображение текущего состояния процесса;

3- мнемоническая схема или таблица с заданными и текущими значениями
технологического процесса;

4- клавиши запуска режимов установки;

5- зона отображения диагностических сообщений и отказов (красная).

Рис. 2.

В зависимости от страницы на экране могут присутствовать не все информационные зоны. Клавиши выбора меню (верхняя строка) присутствуют на каждой странице.

5.2. Вывод на экран выбранного меню осуществляется нажатием соответствующей
клавиши в верхней строке. Для этого необходимо с помощью мыши подвести
курсор к данной клавише и щелкнуть левой кнопкой мыши. На экране появится
страница выбранного меню, при этом клавиша меню в верхней строке изменит цвет
на более светлый.

5.3. Вторая строка разделена на три части (см. рис. 2):

- в первой части, на коричневом фоне отображается название автоматического режима (например, «Рабочий цикл») установки, который в данный момент активизировал оператор;

- во второй части, на темно-сиреневом фоне отображается название выполняемой рабочей подпрограммы режима (например, «Ожидание ответа оператора»);

- в третьей части, на сиреневом фоне отображается последняя выполненная рабочая подпрограмма текущего режима (например, «Механизм подложкодер-жателя путь прошел»).

5.4. В третьей информационной зоне экрана присутствует либо мнемоническая схема установки, либо таблицы с перечнем технологических параметров и их значениями - заданными и текущими, интервалами их изменения и их размерностью.

5.5. В четвертой информационной зоне экрана присутствуют клавиши запуска режимов (автоматических или ручных), которые оператор может запустить при работе с данной страницей.

5.6.

В пятой информационной зоне экрана - зоне отказов - на красном фоне отображается текстовая информация по отказам и диагностическим сообщениям, например, «Нет давления в гидросети». Если в зоне отказов справа появляется клавиша с восклицательным знаком (см. рис. 3) - это означает, что не вся информация об отказах поместилась на экране в зоне отказов.

Рис. 3.

Для просмотра всей информации необходимо с помощью мыши подвести курсор

к данной клавише и щелкнуть левой кнопкой. На экране появится окно с полной диагностикой отказов (см. рис. 4). Для выхода нажать клавишу «Закрыть» в этом окне.

Рис. 4.

5.7. На мнемосхеме состояние исполнительных элементов вакуумной системы в текущий момент времени отображается цветом:

белый - открыт (включен),

зеленый - закрыт (выключен),

красный - отказ,

серый - неопределенное состояние.

Если на мнемосхеме нижний квадрат откачного поста отображается белым

цветом — значит, включен форвакуумный насос откачного поста, верхний квадрат белый — высоковакуумный насос откачного поста (ТМН). Во время разгона высоковакуумного насоса прямоугольный контур откачного поста мигает белым, после разгона — отображается белым.

На мнемосхеме в прямоугольниках Д1, Д2 отображаются числовые значения низкого и высокого вакуума в Па.

Если на клавише запуска режима название режима отображается белым цветом, то данный режим включен (активизирован), зеленым цветом - выключен.

В таблице, расположенной в правом верхнем углу мнемосхемы, отображается давление воды на входе установки и температура воды на сливе водоохлаждаемых устройств. Если температура водоохлаждаемого устройства отображается на голубом фоне, то необходимый уровень расхода достигнут.

5.8. В выводимых на экран страницах экранного меню приняты следующие обозначения и сокращения:

1.21е-04 - пример обозначения степени вакуума, соответствующей

общепринятому 1.21 • 10^-4 Па;

РЦ - рабочий цикл;

Кл - клапан;

Кл-Г - клапан подачи газа;

Д - вакуумный датчик (вакуумметр);

БПН - блок питания нагревателя;

ТМН - турбомолекулярный насос;

БПМ - блок питания магнетрона;

М - магнетрон;

РРГ - регулятор расхода газа;

УУН - устройство управления натекателем.

КОМАНДЫ ОПЕРАТОРА ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКЕ.

ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ.

Управление процессом включает последовательный набор следующих основных операций:

1) настройка параметров работы установки;

2) ввод и передача технологических параметров;

3) Запуск режима «Тренировка»;

4) запуск режима «Рабочий цикл».

А также вспомогательных:

1) запуск режима «Аварийное отключение»;

2) запуск режима «Сброс».

Существует также наладочный режим, предназначенный для проведения наладочных работ, к которым можно отнести:

1) проверку работоспособности элементов вакуумной системы (откачного поста, клапанов);

2) проверку работоспособности элементов газовой системы (РРГ);

3) проверку работоспособности механизма вращения заслонки;

4) проверку работоспособности механизма вращения подложкодержателя;

5) проверку работоспособности механизма вращения дроссельной заслонки;

6) проверку работоспособности механизма вращения пластины;

7) проверку работоспособности технологических блоков (нагрева и БПМ);

8) проверку работоспособности дискретных входов-выходов («Формат»);

9) проверку работоспособности аналоговых входов-выходов («Формат»).

6.2. НАСТРОЙКА ПАРАМЕТРОВ УСТАНОВКИ.

Рис. 5.

После запуска программы в соответствии с п.4 настоящего Руководства на экране монитора появится мнемосхема установки.

Войти в меню «Настройка» в соответствии с п.5.2 настоящего руководства. На экране появится страница рис. 5.

⇐ Предыдущая 123 4 5 Следующая ⇒