Управление элементами газо-вакуумной системы (по мнемосхеме).

Для управления элементами газо-вакуумной системы (Кл.НАП., Кл.1, Кл.Г) необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к выбранному элементу и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- появится запрос «Откр.» или «Закр.» данный элемент (см. рис. 19);

- с помощью мыши подвести курсор к нужной клавише и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- при открытии (включении) цвет элемента на мнемосхеме изменится на белый, при закрытии (выключении) - на зеленый.

Рис. 19.

6.5.2. Включение канала РРГ.

Перед включением канала РРГ в наладочном режиме необходимо ввести и передать параметр (расход РРГ1) в таблице «Параметры» меню «Наладка» (см. рис. 8).

Для управления каналом РРГ в наладочном режиме необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Вкл.» (для включения канала) или «Выкл.» (для отключения) выбранного клапана (РРГ1) и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет» (см. рис. 20);

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши.

После запуска режима название режима (РРГ) на клавише запуска изменит свой цвет с зеленого на белый, после отключения режима — с белого на зеленый.

Заданные и текущие значения расхода газа через РРГ1 отображаются на мнемо-схеме меню «Наладка» в технологической таблице и в прямоугольниках над РРГ1.

Рис. 20

Включить УУН.

Режим УУН позволяет проверить поддержание заданного уровня давления в камере. Перед запуском режима необходимо ввести и передать параметр (давление) в таблице «Параметры» меню «Наладка».

Для управления режимом наобходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Вкл.» УУН или «Выкл.» УУН и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да», «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Вкл.» ( для включения режима) или «Выкл.» ( для отключения режима) и щелкнуть левой кнопкой мыши.

После запуска режима название режима (УУН) на клавише запуска изменит свой цвет с зеленого на белый, после отключения режима – с белого на зеленый. На мнемосхеме клапан РРГ1 отобразится белым цветом. Поддержание заданного давления производится по датчику Д1. Заданное и текущее значения давления отображаются на мнемосхеме меню «Наладка» в технологической таблице.

Откачной пост.

Для откачки камеры в наладочном режиме необходимо включить откачной пост. Для этого надо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Вкл.» откачного поста и щелк-нуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши.

После запуска режима название режима «Вкл.» откачного поста на клавише запуска изменит свой цвет с зеленого на белый. После завершения режима, когда откачной пост выйдет на режим, название режима станет зеленым.

Для отключения откачного поста необходимо выполнить аналогичные действия, нажав клавишу «Выкл.» откачного поста.

Нагрев.

Перед включением нагрева необходимо ввести и передать параметр «Температура» в таблице «Параметры» меню «Наладка» (см. рис. 8)

Для запуска режима необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Вкл.» нагрева и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да», «Нет»;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

Заданная и текущая температуры отображаются в таблице на мнемосхеме меню «Наладка».

Для отключения нагрева необходимо произвести аналогичные действия, нажав клавишу «Откл.».

Магнетрон.

Перед включением магнетрона необходимо создать рабочее давление (газовую среду) в камере, ввести и передать параметр «Мощность» в таблице «Параметры» меню «Наладка» (см. рис. 8)

Для запуска режима необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Вкл.» магнетрон и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

Заданная, текущая мощности, а также напряжение и ток магнетрона отображаются в таблице на мнемосхеме меню «Наладка».

Для отключения режима необходим произвести аналогичные действия, нажав клавишу «Выкл.» магнетрон.

Заслонка.

Данный режим позволяет проверить работоспособность механизма вращения заслонки и подобрать угол поворота заслонки от исходного датчика до позиции пере-укладки (параметр настройки) для автоматических режимов.

После включения установки положение заслонки не определено, поэтому она отображается на мнемосхеме серым цветом. Исходное положение заслонки отображается белым цветом. После выхода заслонки из исходного датчика обнуляется угол поворота заслонки и на мнемосхеме отображается истинное положение заслонки (зеленым цветом).

Для поворота заслонки в датчик исходного положения необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Исх.» заслонки и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- заслонка должна повернуться в исходный датчик.

Для поворота заслонки на угол необходимо ввести и передать параметр «Угол поворота заслонки» в таблице «Параметры» меню «Настройка», затем:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска «Вперед» заслонки и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- заслонка должна повернуться на заданный угол.

Заданный, текущий угол и угол от переукладки отобразятся в таблице на мнемо-схеме.

Для останова (сброса) движения необходимо нажать клавишу «Стоп механиз-мов».

Управление поворотом подложкодержателя выполняется аналогично.

Дроссельная заслонка.

Дроссельная заслонка используется для уменьшения скорости откачки при создании рабочего давления при напылении.

Управление дроссельной заслонкой в наладочном режиме аналогично управлению заслонкой и подложкодержателем ( см. п. 6.5.7), но в отличие от них, она может вращаться как вперед, так и назад.

В данной установке открытое положение заслонки совпадает с датчиком исходного положения. Закрытое положение - 90⁰. В наладочном режиме в переходное положение дроссельная заслонка едет в обратном направлении.

Вращение пластины.

Для включения вращения пластины необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Вращение» пластины и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да», «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши.

Начнется вращение пластины, клавиша запуска режима «Вращение» изменит цвет с зеленого на белый.

Для останова вращения необходимо нажать клавишу «Стоп механизмов».

ФОРМАТ.

Меню «Формат» содержит дискретные и аналоговые входные и выходные сигналы. Данный режим необходим для наладки установки. Для вывода на экран данной страницы необходимо:

- войти в меню «Формат» страницы «Наладка»;

- на экране появится страница экранного меню (см. рис. 21);

В левой части страницы отображены дискретные сигналы, в правой -аналоговые сигналы.

Рис. 21.

Дискретные входы.

Таблица дискретных входных сигналов расположена в левой верхней части экрана (см. рис. 21). В ней отображены:

- название платы контроллера, на которую заведены данные входные сигналы (например, ISO-P32C32);

- название дискретного входного сигнала (например, " Есть охлаждение магетрона" );

- номер разряда регистра платы (например, DI0);

- наличие входного сигнала - галочка в квадрате напротив названия дискретного входного сигнала.

Чтобы просмотреть все дискретные входные сигналы, надо пролистать все страницы " Дискретные входы", для чего:

- подвести курсор к клавише с номером страницы (0, 1) и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- появится соответствующая страница входных дискретных сигналов.

Дискретные выходы.

Таблица дискретных выходных сигналов расположена в левой нижней части экрана (см. рис. 21). В ней отображены:

- название платы контроллера, на которую заведены данные выходные сигналы (например, ISO-P32C32);

- название дискретного выходного сигнала (например, «Включить враще-ние пластины»)

- номер разряда регистра платы (например, DO0);

- наличие выходного сигнала – галочка в квадрате напротив названия дискретного выходного сигнала;

- клавиша включения/отключения выходного дискретного сигнала.

Чтобы просмотреть все дискретные выходные сигналы, надо пролистать все страницы " Дискретные выходы", для чего:

- подвести курсор к клавише с номером страницы (0, 1) и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- появится соответствующая страница выходных дискретных сигналов.

Для того, чтобы подать (снять) выходной дискретный сигнал, необходимо:

- листая страницы " Дискретные выходы", найти страницу с нужным выходным сигналом;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише включения/отключения данного выходного дискретного сигнала и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- при подаче выходного сигнала появится галочка в соответствующем квадрате, при снятии - пропадет.

Аналоговые входы.

Таблица аналоговых входных сигналов расположена в правой верхней части экрана (см. рис. 21). В ней отображены:

- название платы контроллера, на которую заведены данные аналоговые входные сигналы (ISO-813);

- название аналогового входного сигнала (например, «Давление воды на вхо-де установки);

- код входного аналогового сигнала:

Dec - в десятичной системе счисления;

- величина аналогового сигнала в вольтах;

- линейный индикатор входного аналогового сигнала (линия лимонного цвета пропорциональна входному сигналу).

Аналоговые выходы.

Таблица аналоговых выходных сигналов расположена в правой нижней части экрана (см. рис. 21). В ней отображены:

- название платы контроллера, на которую заведены данные аналоговые выходные сигналы (ISO-DA16);

- название аналогового выходного сигнала (например, «Управление скорос-тью вращения пластины»);

- клавиша обнуления данного выходного сигнала " О";

- клавиша передачи данного выходного сигнала " У";

- линейка с ползунком для быстрого задания выходного аналогового сигнала;

- клавиша плавного уменьшения задания ◄;

- клавиша плавного увеличения задания ►;

- код выходного аналогового сигнала в десятичной системе счисления;

- величина аналогового сигнала в вольтах (заданная и переданная);

- линейные индикаторы выходного аналогового сигнала (заданного и пере-данного).

Для того, чтобы подать выходной аналоговый сигнал, необходимо:

- найти нужный выходной аналоговый сигнал;

- подвести курсор к ползунку линейки задания, нажать левую кнопку мыши и, не отпуская кнопку мыши, двигать ползунок по линейке вправо. Справа от линейки будет отображаться заданная величина выходного сигнала. При достижении нужного значения отпустить кнопку мыши. С помощью клавиш ◄ и ► можно более точно уменьшить или увеличить заданное значение;

- ввести заданное значение в контроллер, нажав клавишу " У";

- над заданным значением появится величина переданного значения. На линейных индикаторах будут отображаться линии, пропорции-ональные выходному аналоговому сигналу.

Для сброса (обнуления) аналогового выходного сигнала нажать клавишу " О" данного сигнала.

СТАТИСТИКА.

Страница меню «Статистика» отображает действия оператора во время работы (передача параметров, запуск режимов и т.д.) и время установки и снятия диагностических сообщений с момента запуска установки до отключения.

Для вывода на экран страницы «Статистика» необходимо:

- войти в меню «Сервис»;

- подвести курсор к клавише «Статистика» во второй строке и щелкнуть левой кнопкой мыши;

на экране появится страница экранного меню (см. рис. 22).

Рис. 22.

АРХИВ СТАТИСТИКИ.

В Архиве статистики хранятся статистические данные о действиях оператора и диагностиках на сто включений установки. Для вывода на экран этих данных необходимо:

- войти в меню «Сервис»;

- подвести курсор к клавише «Архив статистики» во второй строке и щелк-нуть левой кнопкой мыши;

- с помощью мыши в правом столбце выбрать дату и время запуска установки;

- на экране отобразятся действия оператора в течение этого дня и диагностики (см. рис. 23).

Рис. 23.

⇐ Предыдущая 1 2 3 45