Чтение из библиотеки программ.

Для ввода параметров из библиотеки программ необходимо войти в меню «Параметры», затем:

- выбрать нужную программу, для чего подвести курсор к строке с заданным именем программы и щелкнуть левой кнопкой мыши. Строка выбранной программы изменит цвет на синий;

- в столбце «Библиотека» высветятся технологические параметры выбранной программы (см. рис. 11);

- с помощью мыши нажать клавишу «Чтение из библиотеки»;

- в столбце «Задание» появятся технологические параметры выбранной программы;

- нажать клавишу «Передача параметров»;

- нажать «Да» для подтверждения передачи параметров контроллеру;

- в столбце «Контроль» высветятся параметры, записанные в контроллер из выбранной программы библиотеки.

Рис. 11.

Запись в библиотеку программ.

Для записи технологических параметров в библиотеку программ необходимо войти в меню «Параметры», затем:

- ввестивручную технологические параметры в столбец «Задание» согласно п.6.3.1 данного руководства, но не передавать их;

- выбрать имя программы, куда будут записаны новые параметры, для чего подвести курсор к строке с именем программы и щелкнуть левой кнопкой мыши. Строка выбранной программы изменит цвет на синий;

- спомощью мыши нажать клавишу «Запись в библиотеку»;

- на экране появится окно (см. рис. 12), в нем в строке «Новое» ввести новое имя программы (см. рис. 13);

- для записи нажать клавишу «Да», под данным именем в библиотеку программ запишется новое имя программы с введенными параметрами.

Рис. 12

Рис. 13

АВТОМАТИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ.

Все автоматические режимы запускаются из меню «Мнемосхема» (см. рис. 1).

Рабочий цикл.

Перед запуском «Рабочего цикла» необходимо ввести и передать технологические параметры рабочего цикла вручную или из библиотеки параметров см. п. 6.3 данного руководства.

Если время процесса нагрева равно нулю, то нагрев пластины производиться не будет. Если мощность магнетрона равна нулю или время процесса равно нулю, то данный процесс производиться не будет.

Для запуска режима «Рабочий цикл» необходимо:

- в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Рабочий цикл» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима (см. рис. 14);

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

Рис. 14.

ВНИМАНИЕ! Если после нажатия клавиши запуска режима на экране появится окно с сообщением, что данный режим нельзя активизировать, значит, нет необходимых условий для запуска данного режима (эти условия также будут указаны в данном сообщении, например, «Нет охлаждения камеры») (см. рис. 15).

Рис. 15.

Для продолжения необходимо закрыть окно, нажав клавишу «Закрыть» в этом окне, создать все условия для запуска и повторить запуск режима.

После запуска режима название режима на клавише запуска изменит свой цвет с зеленого на белый, и в начале второй строки на коричневом поле появится название запущенного режима, в данном случае «Рабочий цикл». Заданные и текущие значения параметров рабочего цикла отображаются в технологической таблице на мнемосхеме установки, а в строке под технологической таблицей — название процесса (см. рис. 17). После завершения режима название режима в начале второй строки пропадет, а в конце строки появится сообщение «Рабочий цикл завершен», и название режима на клавише запуска изменит свой цвет с белого на зеленый.

После запуска режима включится клапан напуска и произойдет напуск в камеру до атмосферы. Заслонка и подложкодержатель переместятся в позицию переукладки. На экране монитора появится окно (см. рис. 16).

Рис. 16.

Рис.17

Оператор должен открыть дверь камеры, загрузить пластину, закрыть дверь камеры и с помощью мыши нажать клавишу «Да» в окне. Закроется клапан напуска, дроссельная заслонка повернется в положение «Открыто», включится форвакуумный насос, заслонка переместится в позицию нагрева. После откачки камеры до 1000 Па запустится ТМН откачного поста, начнется высоковакуумная откачка камеры до уровня, указанного в строке 1 меню «Настройка», включатся разрешенные в настройке технологические блоки (нагреватель, БПМ).

Начнется технологический процесс, включающий в себя нагрев пластины и напыление по заданным технологическим параметрам.

По завершению технологического процесса начнется процесс охлаждения. После задержки на охлаждение (время задается в строке 17 меню «Настройка») отключится высоковакуумный насос, подложкодержатель и заслонка переместятся на позицию переукладки, дроссельная заслонка – в исходное положение, через 5 минут (время останова ТМН) отключится форвакуумный насос, включится клапан напуска. Отключатся блок питания нагрева и БПМ. Когда в камере будет атмосфера, появится окно (см. рис. 17).

Оператор должен открыть дверь камеры, выгрузить пластину и ввести «Да». Закроется клапан напуска, подложкодержатель и заслонка встанут в исходное положение. Рабочий цикл завершится.

ВНИМАНИЕ! Для сброса режима «Рабочий цикл» необходимо нажать клавишу «Аварийное отключение», см. п. 6.4.2. данного руководства.

Для определения степени выработки мишени магнетрона производится расчет текущей мощности на время работы (кВт*час) и эти данные записываются в ячейку «Ресурс мишени» в таблице «Параметры» (см. рис. 7).

После смены мишени необходимо нажать клавишу «Сброс» для обнуления ячейки и ввести «Да» для подтверждения.

Тренировка.

Данный режим необходим для тренировки мишени после ее замены.

Перед запуском режима «Тренировка» необходимо ввести м передать (см. п.6.3.) технологические параметры тренировки: давление, мощность, время процесса, угол поворота ДЗ. Технологические параметры вводятся в таблицу параметров для автоматического режима для процесса напыления (см. рис.7).

Для запуска данного режима необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Тренировка» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

После запуска режима название режима на клавише запуска изменит свлй цвет с зеленого на белый, и в начале второй строки на коричневом поле появится название запущенного режима, в данном случае «Тренировка». После завершения режима это сообщение пропадет, а в конце строки появится сообщение «Тренировка завершена», и название режима на клавише запуска изменит свой цвет с белого на зеленый.

ВНИМАНИЕ! Для сброса этого режима необходимо нажать клавишу «Аварийное отключение» см. п. 6.4.3. данного руководства.

Аварийное отключение.

Данный режим используется для сброса режимов «Рабочий цикл» и «Тренировки». Также он может запуститься автоматически, если:

- во время рабочего цикла после выхода высоковакуумного насоса на режим в камере будет давление выше 500 Па, при этом появится диагностика «Авария: высокое давление на входе ВВ насоса»;

- во время рабочего цикла более чем на 5 секунд пропадет вода на работающей технологической позиции, при этом появится диагностика «Авария: нет охлаждения поз. нагрева» или «Авария: нет охлаждения поз. магнетрона»;

Для запуска данного режима оператором необходимо:

- в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише «Аварийное отключение» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

После запуска данного режима в начале второй строки на коричневом поле появится название режима «Аварийное отключение», при этом сбросится активизация режима «Рабочий цикл» или «Тренировка», выключится выходная мощность работающего технологического устройства (нагревателя или БПМ), отключатся откачной пост и УУН. Если режим запущен для сброса «Тренировки», то подложкодержатель, заслонка и дроссельная заслонка переместятся в исходное положение и режим завершится. Если режим запущен для сброса «Рабочего цикла», то включится клапан напуска, подложкодержатель и заслонка переместятся на позицию переукладки, а дроссельная - заслонка в исходное положение. После напуска в камеру до атмосферы появится окно «Выгрузите пластину. Пластина выгружена? Да». Оператор должен выгрузить пластину и нажать клавишу «Да» в этом окне. Клапан напуска закроется, подложкодержатель и заслонка встанут в исходное положение. Режим «Аварийное отключение» завершится.

После завершения режима его название в начале второй строки пропадет.

ВНИМАНИЕ! Для сброса режима «Аварийное отключение» необходимо нажать клавишу «Сброс» см. п. 6.4.3. данного руководства.

Сброс.

Данный режим используется для снятия активизации режимов «Аварийное отключение», «Выключение Откачного поста», «Выключение Нагрева», «Выключение БПМ»; для сброса РРГ1, УУН, а также для снятия всех диагностик, включая аварийные.

Для запуска данного режима необходимо:

- в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише «Сброс» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

После завершения режима в конце второй строки появится сообщение «Общий сброс завершен».

НАЛАДОЧНЫЕ РЕЖИМЫ.

Все наладочные режимы запускаются из меню «Мнемосхема» страницы «Наладка». Для вывода на экран данного меню необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Наладка» верхней строки и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Мнемосхема» во второй строке и щелкнуть левой кнопкой мыши;

на экране появится меню «Мнемосхема» страницы «Наладка» (см. рис. 18).

Рис. 18.

⇐ Предыдущая 1 2 345 Следующая ⇒