УСЛОВИЯ ПРИМЕНЕНИЯ И ВЫПОЛНЕНИЯ ПРОГРАММЫ.

ВВЕДЕНИЕ.

1.1. Настоящее руководство оператора является руководством по запуску и работе с
программным обеспечением установки магнетронного распыления МВУ ТМ МАГНА 100 (в дальнейшем — установка).

1.2. Для изучения и эксплуатации установки необходимо дополнительно
руководствоваться техническим описанием и руководством по эксплуатации на установку и документами, приведёнными в комплекте эксплуатационной
документации.

НАЗНАЧЕНИЕ ПРОГРАММЫ.

Программное обеспечение установки предназначено для:

2.1. Обеспечения включения в наладочном (ручном) режиме

- элементов вакуумной системы (откачного поста, клапана напуска, Кл1, КлГ);

- элементов газовой системы (РРГ1, УУН);

- технологических блоков (нагревателя, блока питания магнетрона);

- механизма вращения заслонки;

- механизма вращения подложкодержателя;

- механизма вращения пластины;

- механизма вращения дроссельной заслонки.

2.2. Обеспечения передачи и приема заданных параметров технологических
процессов;

2.3. Обеспечение автоматической тренировки магнетрона с заданными технологическими параметрами после запуска оператором режима «Тренировка».

2.4. Обеспечения автоматической работы установки в едином вакуумном цикле в
соответствии с заданным алгоритмом работы и с заданными технологическими
параметрами после запуска оператором режима «Рабочий цикл»;

2.5. Обеспечения сброса рабочего цикла по команде оператора (Режим «Аварийное отключение»);

2.6. Автоматического запуска режима «Аварийное отключение установки» при пропадании воды на работающей технологической позиции и при превышении давления (свыше 500 Па) на входе высоковакуумного насоса, если он разогнан.

2.7. Поддержания интерфейса пользователя, позволяющего:

- создавать и хранить в библиотеке параметров технологические параметры на
каждый технологический процесс;

- оперативно изменять технологические параметры даже во время процесса;

- отображать на экране запрашиваемую оператором информацию о состоянии элементов вакуумной системы установки, заданные и текущие параметры технологических процессов с постоянным обновление информации не реже 1 сек;

- оперативно отображать на экране любую предупредительную и аварийную информацию;

- обеспечивать наличие подсказки оператору (окна).

УСЛОВИЯ ПРИМЕНЕНИЯ И ВЫПОЛНЕНИЯ ПРОГРАММЫ.

Программное обеспечение выполнено на языке «СИ» для IBM PC и работает под управлением операционной системы WINDOWS XP.

Для работы программного обеспечения необходим следующий минимальный объем технических средств: ЭВМ типа IBM PC, Pentium 4, 3000MHz с объемом ОЗУ 512 МБ.

ЗАПУСК ПРОГРАММЫ.

Для запуска программы необходимо выполнить следующие операции:

4.1. Подать питание на установку, на силовой панели шкафа должны загореться три желтые индикационные лампы слева от автоматического выключателя «Сеть ~380В, 50Гц»;

4.2. Включить автоматический выключатель «Сеть ~380В, 50Гц»;

4.3. На индикационной панели шкафа нажать кнопку «ПУСК», на силовой панели шкафа должны загореться три желтые индикационные лампы справа от автоматического выключателя «Сеть ~380В, 50Гц»;

4.4. Включить источник бесперебойного питания «ИБП», на нем должен загореться зеленый светодиод;

4.5. С помощью ключа открыть стеклянную дверцу контроллера «ROBO-2000» и включить кнопку «POWER», должен загореться зеленый светодиод «POWER»;

4.6.

На экране монитора появится мнемосхема установки (рис. 1).

Рис. 1

4.7. Для отключения питания установки необходимо:

- С помощью ключа открыть стеклянную дверцу контроллера «ROBO-2000» и выключить кнопку «POWER»;

- дождаться, пока экран монитора погаснет;

- выключить источник бесперебойного питания «ИБП»;

- на индикационной панели нажать кнопку «СТОП»; три желтые индикационные лампы справа от автомата должны погаснуть;

- выключить автомат«~380В, 50Гц» шкафа управления;

- отключить силовое питание на установку, желтые индикационные лампы слева от автомата должны погаснуть.

КОМАНДЫ ОПЕРАТОРА ПРИ РАБОТЕ НА УСТАНОВКЕ.

ОБЩИЕ ПОЛОЖЕНИЯ.

Управление процессом включает последовательный набор следующих основных операций:

1) настройка параметров работы установки;

2) ввод и передача технологических параметров;

3) Запуск режима «Тренировка»;

4) запуск режима «Рабочий цикл».

А также вспомогательных:

1) запуск режима «Аварийное отключение»;

2) запуск режима «Сброс».

Существует также наладочный режим, предназначенный для проведения наладочных работ, к которым можно отнести:

1) проверку работоспособности элементов вакуумной системы (откачного поста, клапанов);

2) проверку работоспособности элементов газовой системы (РРГ);

3) проверку работоспособности механизма вращения заслонки;

4) проверку работоспособности механизма вращения подложкодержателя;

5) проверку работоспособности механизма вращения дроссельной заслонки;

6) проверку работоспособности механизма вращения пластины;

7) проверку работоспособности технологических блоков (нагрева и БПМ);

8) проверку работоспособности дискретных входов-выходов («Формат»);

9) проверку работоспособности аналоговых входов-выходов («Формат»).

6.2. НАСТРОЙКА ПАРАМЕТРОВ УСТАНОВКИ.

Рис. 5.

После запуска программы в соответствии с п.4 настоящего Руководства на экране монитора появится мнемосхема установки.

Войти в меню «Настройка» в соответствии с п.5.2 настоящего руководства. На экране появится страница рис. 5.

Включать нагрев?

С помощью таблицы «Настройка» можно запретить работу любого технологического устройства (нагревателя, БПМ), например, если это устройство неисправно, а технологический процесс можно вести без него. В случае запрета программа не обращается к этому устройству и блокирует ввод параметров этого устройства.

Для запрета работы нагревателя необходимо:

- в столбце «Задание» строки 7 «Включать нагрев? » нажать клавишу ▼;

- появится столбец со значениями «Да», «Нет»;

- с помощью мыши выбрать клавишу «Нет»;

- нажать клавишу «Передача параметров»;

- ввести «Да» для подтверждения передачи;

- в столбце «Текущее» высветится параметр «Нет».

Аналогично можно запретить работу БПМ см. п. 8 таблицы «Настройка».

Текущая скорость вращения.

С помощью данного параметра настройки можно менять текущую скорость вращения механизма. Для изменения текущей скорости вращения подложкодержателя необходимо:

- в столбце «Задание» строки 9 «Текущая скорость вращения подложкодер-жателя» нажать клавишу ▼;

- появится столбец со значениями скорости от 1 до 7 в условных единицах;

- с помощью мыши выбрать нужное значение;

- нажать клавишу «Передача параметров»;

- ввести «Да» для подтверждения передачи;

- в столбце «Текущее» высветится выбранное значение скорости.

Аналогично можно изменять текущую скорость вращения заслонки, дроссельной заслонки и пластины см. п.п. 10-12 таблицы «Настройка».

ВВОД ПАРАМЕТРОВ.

Режим ввода параметров позволяет задавать и изменять параметры работы установки согласно технологическим картам вручную, считывать параметры из библиотеки программ, записывать параметры в библиотеку программ.

Ввод параметров (вручную).

Для ввода параметров автоматического режима необходимо войти в меню «Параметры» согласно п. 5.2 настоящего руководства оператора. На экране появится таблица параметров (см. рис. 7).

Рис. 7.

Для ввода параметров режима наладки необходимо войти в меню «Наладка» согласно п. 5.2, а затем в меню «Параметры». На экране появится таблица параметров (см. рис. 8).

Рис. 8.

Для ввода параметров автоматического режима вручную необходимо:

- в столбце «Задание» с помощью мыши выбрать вводимый параметр, щелкнув два раза левой кнопкой мыши;

- с помощью клавиатуры набрать необходимое значение параметра в указанном интервале согласно технологической карте;

- аналогично ввести значения других параметров;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Передача параметров» и щелкнуть левой кнопкой мыши, на экране появится окно (см. рис. 9);

- ввести «Да» для подтверждения передачи параметров контроллеру;

- в столбце «Контроль» высветятся параметры, записанные в контроллер (см. рис. 10)

Если оператор вводит значение параметра не из указанного интервала, то при вводе программа записывает минимальное или максимальное значение этого интервала.

Рис. 9.

ВНИМАНИЕ! При передаче параметров контроллеру вся таблица параметров передается целиком.

ВНИМАНИЕ! Оператор может вводить и изменять технологически параметры в любой момент времени.

Рис. 10.

АВТОМАТИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ.

Все автоматические режимы запускаются из меню «Мнемосхема» (см. рис. 1).

Рабочий цикл.

Перед запуском «Рабочего цикла» необходимо ввести и передать технологические параметры рабочего цикла вручную или из библиотеки параметров см. п. 6.3 данного руководства.

Если время процесса нагрева равно нулю, то нагрев пластины производиться не будет. Если мощность магнетрона равна нулю или время процесса равно нулю, то данный процесс производиться не будет.

Для запуска режима «Рабочий цикл» необходимо:

- в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Рабочий цикл» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима (см. рис. 14);

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

Рис. 14.

ВНИМАНИЕ! Если после нажатия клавиши запуска режима на экране появится окно с сообщением, что данный режим нельзя активизировать, значит, нет необходимых условий для запуска данного режима (эти условия также будут указаны в данном сообщении, например, «Нет охлаждения камеры») (см. рис. 15).

Рис. 15.

Для продолжения необходимо закрыть окно, нажав клавишу «Закрыть» в этом окне, создать все условия для запуска и повторить запуск режима.

После запуска режима название режима на клавише запуска изменит свой цвет с зеленого на белый, и в начале второй строки на коричневом поле появится название запущенного режима, в данном случае «Рабочий цикл». Заданные и текущие значения параметров рабочего цикла отображаются в технологической таблице на мнемосхеме установки, а в строке под технологической таблицей — название процесса (см. рис. 17). После завершения режима название режима в начале второй строки пропадет, а в конце строки появится сообщение «Рабочий цикл завершен», и название режима на клавише запуска изменит свой цвет с белого на зеленый.

После запуска режима включится клапан напуска и произойдет напуск в камеру до атмосферы. Заслонка и подложкодержатель переместятся в позицию переукладки. На экране монитора появится окно (см. рис. 16).

Рис. 16.

Рис.17

Оператор должен открыть дверь камеры, загрузить пластину, закрыть дверь камеры и с помощью мыши нажать клавишу «Да» в окне. Закроется клапан напуска, дроссельная заслонка повернется в положение «Открыто», включится форвакуумный насос, заслонка переместится в позицию нагрева. После откачки камеры до 1000 Па запустится ТМН откачного поста, начнется высоковакуумная откачка камеры до уровня, указанного в строке 1 меню «Настройка», включатся разрешенные в настройке технологические блоки (нагреватель, БПМ).

Начнется технологический процесс, включающий в себя нагрев пластины и напыление по заданным технологическим параметрам.

По завершению технологического процесса начнется процесс охлаждения. После задержки на охлаждение (время задается в строке 17 меню «Настройка») отключится высоковакуумный насос, подложкодержатель и заслонка переместятся на позицию переукладки, дроссельная заслонка – в исходное положение, через 5 минут (время останова ТМН) отключится форвакуумный насос, включится клапан напуска. Отключатся блок питания нагрева и БПМ. Когда в камере будет атмосфера, появится окно (см. рис. 17).

Оператор должен открыть дверь камеры, выгрузить пластину и ввести «Да». Закроется клапан напуска, подложкодержатель и заслонка встанут в исходное положение. Рабочий цикл завершится.

ВНИМАНИЕ! Для сброса режима «Рабочий цикл» необходимо нажать клавишу «Аварийное отключение», см. п. 6.4.2. данного руководства.

Для определения степени выработки мишени магнетрона производится расчет текущей мощности на время работы (кВт*час) и эти данные записываются в ячейку «Ресурс мишени» в таблице «Параметры» (см. рис. 7).

После смены мишени необходимо нажать клавишу «Сброс» для обнуления ячейки и ввести «Да» для подтверждения.

Тренировка.

Данный режим необходим для тренировки мишени после ее замены.

Перед запуском режима «Тренировка» необходимо ввести м передать (см. п.6.3.) технологические параметры тренировки: давление, мощность, время процесса, угол поворота ДЗ. Технологические параметры вводятся в таблицу параметров для автоматического режима для процесса напыления (см. рис.7).

Для запуска данного режима необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Тренировка» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

После запуска режима название режима на клавише запуска изменит свлй цвет с зеленого на белый, и в начале второй строки на коричневом поле появится название запущенного режима, в данном случае «Тренировка». После завершения режима это сообщение пропадет, а в конце строки появится сообщение «Тренировка завершена», и название режима на клавише запуска изменит свой цвет с белого на зеленый.

ВНИМАНИЕ! Для сброса этого режима необходимо нажать клавишу «Аварийное отключение» см. п. 6.4.3. данного руководства.

Аварийное отключение.

Данный режим используется для сброса режимов «Рабочий цикл» и «Тренировки». Также он может запуститься автоматически, если:

- во время рабочего цикла после выхода высоковакуумного насоса на режим в камере будет давление выше 500 Па, при этом появится диагностика «Авария: высокое давление на входе ВВ насоса»;

- во время рабочего цикла более чем на 5 секунд пропадет вода на работающей технологической позиции, при этом появится диагностика «Авария: нет охлаждения поз. нагрева» или «Авария: нет охлаждения поз. магнетрона»;

Для запуска данного режима оператором необходимо:

- в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише «Аварийное отключение» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

После запуска данного режима в начале второй строки на коричневом поле появится название режима «Аварийное отключение», при этом сбросится активизация режима «Рабочий цикл» или «Тренировка», выключится выходная мощность работающего технологического устройства (нагревателя или БПМ), отключатся откачной пост и УУН. Если режим запущен для сброса «Тренировки», то подложкодержатель, заслонка и дроссельная заслонка переместятся в исходное положение и режим завершится. Если режим запущен для сброса «Рабочего цикла», то включится клапан напуска, подложкодержатель и заслонка переместятся на позицию переукладки, а дроссельная - заслонка в исходное положение. После напуска в камеру до атмосферы появится окно «Выгрузите пластину. Пластина выгружена? Да». Оператор должен выгрузить пластину и нажать клавишу «Да» в этом окне. Клапан напуска закроется, подложкодержатель и заслонка встанут в исходное положение. Режим «Аварийное отключение» завершится.

После завершения режима его название в начале второй строки пропадет.

ВНИМАНИЕ! Для сброса режима «Аварийное отключение» необходимо нажать клавишу «Сброс» см. п. 6.4.3. данного руководства.

Сброс.

Данный режим используется для снятия активизации режимов «Аварийное отключение», «Выключение Откачного поста», «Выключение Нагрева», «Выключение БПМ»; для сброса РРГ1, УУН, а также для снятия всех диагностик, включая аварийные.

Для запуска данного режима необходимо:

- в меню «Мнемосхема» с помощью мыши подвести курсор к клавише «Сброс» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится запрос на подтверждение запуска данного режима;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

После завершения режима в конце второй строки появится сообщение «Общий сброс завершен».

НАЛАДОЧНЫЕ РЕЖИМЫ.

Все наладочные режимы запускаются из меню «Мнемосхема» страницы «Наладка». Для вывода на экран данного меню необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Наладка» верхней строки и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Мнемосхема» во второй строке и щелкнуть левой кнопкой мыши;

на экране появится меню «Мнемосхема» страницы «Наладка» (см. рис. 18).

Рис. 18.

Включить УУН.

Режим УУН позволяет проверить поддержание заданного уровня давления в камере. Перед запуском режима необходимо ввести и передать параметр (давление) в таблице «Параметры» меню «Наладка».

Для управления режимом наобходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Вкл.» УУН или «Выкл.» УУН и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да», «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Вкл.» ( для включения режима) или «Выкл.» ( для отключения режима) и щелкнуть левой кнопкой мыши.

После запуска режима название режима (УУН) на клавише запуска изменит свой цвет с зеленого на белый, после отключения режима – с белого на зеленый. На мнемосхеме клапан РРГ1 отобразится белым цветом. Поддержание заданного давления производится по датчику Д1. Заданное и текущее значения давления отображаются на мнемосхеме меню «Наладка» в технологической таблице.

Откачной пост.

Для откачки камеры в наладочном режиме необходимо включить откачной пост. Для этого надо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Вкл.» откачного поста и щелк-нуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши.

После запуска режима название режима «Вкл.» откачного поста на клавише запуска изменит свой цвет с зеленого на белый. После завершения режима, когда откачной пост выйдет на режим, название режима станет зеленым.

Для отключения откачного поста необходимо выполнить аналогичные действия, нажав клавишу «Выкл.» откачного поста.

Нагрев.

Перед включением нагрева необходимо ввести и передать параметр «Температура» в таблице «Параметры» меню «Наладка» (см. рис. 8)

Для запуска режима необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Вкл.» нагрева и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да», «Нет»;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

Заданная и текущая температуры отображаются в таблице на мнемосхеме меню «Наладка».

Для отключения нагрева необходимо произвести аналогичные действия, нажав клавишу «Откл.».

Магнетрон.

Перед включением магнетрона необходимо создать рабочее давление (газовую среду) в камере, ввести и передать параметр «Мощность» в таблице «Параметры» меню «Наладка» (см. рис. 8)

Для запуска режима необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Вкл.» магнетрон и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- ввести «Да» для подтверждения запуска режима.

Заданная, текущая мощности, а также напряжение и ток магнетрона отображаются в таблице на мнемосхеме меню «Наладка».

Для отключения режима необходим произвести аналогичные действия, нажав клавишу «Выкл.» магнетрон.

Заслонка.

Данный режим позволяет проверить работоспособность механизма вращения заслонки и подобрать угол поворота заслонки от исходного датчика до позиции пере-укладки (параметр настройки) для автоматических режимов.

После включения установки положение заслонки не определено, поэтому она отображается на мнемосхеме серым цветом. Исходное положение заслонки отображается белым цветом. После выхода заслонки из исходного датчика обнуляется угол поворота заслонки и на мнемосхеме отображается истинное положение заслонки (зеленым цветом).

Для поворота заслонки в датчик исходного положения необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Исх.» заслонки и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- заслонка должна повернуться в исходный датчик.

Для поворота заслонки на угол необходимо ввести и передать параметр «Угол поворота заслонки» в таблице «Параметры» меню «Настройка», затем:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска «Вперед» заслонки и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да» и «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- заслонка должна повернуться на заданный угол.

Заданный, текущий угол и угол от переукладки отобразятся в таблице на мнемо-схеме.

Для останова (сброса) движения необходимо нажать клавишу «Стоп механиз-мов».

Управление поворотом подложкодержателя выполняется аналогично.

Дроссельная заслонка.

Дроссельная заслонка используется для уменьшения скорости откачки при создании рабочего давления при напылении.

Управление дроссельной заслонкой в наладочном режиме аналогично управлению заслонкой и подложкодержателем ( см. п. 6.5.7), но в отличие от них, она может вращаться как вперед, так и назад.

В данной установке открытое положение заслонки совпадает с датчиком исходного положения. Закрытое положение - 90⁰. В наладочном режиме в переходное положение дроссельная заслонка едет в обратном направлении.

Вращение пластины.

Для включения вращения пластины необходимо:

- с помощью мыши подвести курсор к клавише запуска режима «Вращение» пластины и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- на экране появится окно с клавишами «Да», «Нет»;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише «Да» и щелкнуть левой кнопкой мыши.

Начнется вращение пластины, клавиша запуска режима «Вращение» изменит цвет с зеленого на белый.

Для останова вращения необходимо нажать клавишу «Стоп механизмов».

ФОРМАТ.

Меню «Формат» содержит дискретные и аналоговые входные и выходные сигналы. Данный режим необходим для наладки установки. Для вывода на экран данной страницы необходимо:

- войти в меню «Формат» страницы «Наладка»;

- на экране появится страница экранного меню (см. рис. 21);

В левой части страницы отображены дискретные сигналы, в правой -аналоговые сигналы.

Рис. 21.

Дискретные входы.

Таблица дискретных входных сигналов расположена в левой верхней части экрана (см. рис. 21). В ней отображены:

- название платы контроллера, на которую заведены данные входные сигналы (например, ISO-P32C32);

- название дискретного входного сигнала (например, " Есть охлаждение магетрона" );

- номер разряда регистра платы (например, DI0);

- наличие входного сигнала - галочка в квадрате напротив названия дискретного входного сигнала.

Чтобы просмотреть все дискретные входные сигналы, надо пролистать все страницы " Дискретные входы", для чего:

- подвести курсор к клавише с номером страницы (0, 1) и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- появится соответствующая страница входных дискретных сигналов.

Дискретные выходы.

Таблица дискретных выходных сигналов расположена в левой нижней части экрана (см. рис. 21). В ней отображены:

- название платы контроллера, на которую заведены данные выходные сигналы (например, ISO-P32C32);

- название дискретного выходного сигнала (например, «Включить враще-ние пластины»)

- номер разряда регистра платы (например, DO0);

- наличие выходного сигнала – галочка в квадрате напротив названия дискретного выходного сигнала;

- клавиша включения/отключения выходного дискретного сигнала.

Чтобы просмотреть все дискретные выходные сигналы, надо пролистать все страницы " Дискретные выходы", для чего:

- подвести курсор к клавише с номером страницы (0, 1) и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- появится соответствующая страница выходных дискретных сигналов.

Для того, чтобы подать (снять) выходной дискретный сигнал, необходимо:

- листая страницы " Дискретные выходы", найти страницу с нужным выходным сигналом;

- с помощью мыши подвести курсор к клавише включения/отключения данного выходного дискретного сигнала и щелкнуть левой кнопкой мыши;

- при подаче выходного сигнала появится галочка в соответствующем квадрате, при снятии - пропадет.

Аналоговые входы.

Таблица аналоговых входных сигналов расположена в правой верхней части экрана (см. рис. 21). В ней отображены:

- название платы контроллера, на которую заведены данные аналоговые входные сигналы (ISO-813);

- название аналогового входного сигнала (например, «Давление воды на вхо-де установки);

- код входного аналогового сигнала:

Dec - в десятичной системе счисления;

- величина аналогового сигнала в вольтах;

- линейный индикатор входного аналогового сигнала (линия лимонного цвета пропорциональна входному сигналу).

Аналоговые выходы.

Таблица аналоговых выходных сигналов расположена в правой нижней части экрана (см. рис. 21). В ней отображены:

- название платы контроллера, на которую заведены данные аналоговые выходные сигналы (ISO-DA16);

- название аналогового выходного сигнала (например, «Управление скорос-тью вращения пластины»);

- клавиша обнуления данного выходного сигнала " О";

- клавиша передачи данного выходного сигнала " У";

- линейка с ползунком для быстрого задания выходного аналогового сигнала;

- клавиша плавного уменьшения задания ◄;

- клавиша плавного увеличения задания ►;

- код выходного аналогового сигнала в десятичной системе счисления;

- величина аналогового сигнала в вольтах (заданная и переданная);

- линейные индикаторы выходного аналогового сигнала (заданного и пере-данного).

Для того, чтобы подать выходной аналоговый сигнал, необходимо:

- найти нужный выходной аналоговый сигнал;

- подвести курсор к ползунку линейки задания, нажать левую кнопку мыши и, не отпуская кнопку мыши, двигать ползунок по линейке вправо. Справа от линейки будет отображаться заданная величина выходного сигнала. При достижении нужного значения отпустить кнопку мыши. С помощью клавиш ◄ и ► можно более точно уменьшить или увеличить заданное значение;

- ввести заданное значение в контроллер, нажав клавишу " У";

- над заданным значением появится величина переданного значения. На линейных индикаторах будут отображаться линии, пропорции-ональные выходному аналоговому сигналу.

Для сброса (обнуления) аналогового выходного сигнала нажать клавишу " О " данного сигнала.

СТАТИСТИКА.

Страница меню «Статистика» отображает действия оператора во время работы (передача параметров, запуск режимов и т.д.) и время установки и снятия диагностических сообщений с момента запуска установки до отключения.

Для вывода на экран страницы «Статистика» необходимо:

- войти в меню «Сервис»;

- подвести курсор к клавише «Статистика» во второй строке и щелкнуть левой кнопкой мыши;

на экране появится страница экранного меню (см. рис. 22).

Рис. 22.

АРХИВ СТАТИСТИКИ.

В Архиве статистики хранятся статистические данные о действиях оператора и диагностиках на сто включений установки. Для вывода на экран этих данных необходимо:

- войти в меню «Сервис»;

- подвести курсор к клавише «Архив статистики» во второй строке и щелк-нуть левой кнопкой мыши;

- с помощью мыши в правом столбце выбрать дату и время запуска установки;

- на экране отобразятся действия оператора в течение этого дня и диагностики (см. рис. 23).

Рис. 23.

ВВЕДЕНИЕ.

НАЗНАЧЕНИЕ ПРОГРАММЫ.

Программное обеспечение установки предназначено для:

2.1. Обеспечения включения в наладочном (ручном) режиме

- элементов вакуумной системы (откачного поста, клапана напуска, Кл1, КлГ);

- элементов газовой системы (РРГ1, УУН);

- технологических блоков (нагревателя, блока питания магнетрона);

- механизма вращения заслонки;

- механизма вращения подложкодержателя;

- механизма вращения пластины;

- механизма вращения дроссельной заслонки.

2.2. Обеспечения передачи и приема заданных параметров технологических
процессов;

2.5. Обеспечения сброса рабочего цикла по команде оператора (Режим «Аварийное отключение»);

2.7. Поддержания интерфейса пользователя, позволяющего:

- создавать и хранить в библиотеке параметров технологические параметры на
каждый технологический процесс;

- оперативно изменять технологические параметры даже во время процесса;

- оперативно отображать на экране любую предупредительную и аварийную информацию;

- обеспечивать наличие подсказки оператору (окна).

УСЛОВИЯ ПРИМЕНЕНИЯ И ВЫПОЛНЕНИЯ ПРОГРАММЫ.

ЗАПУСК ПРОГРАММЫ.

Для запуска программы необходимо выполнить следующие операции:

4.2. Включить автоматический выключатель «Сеть ~380В, 50Гц»;

4.4. Включить источник бесперебойного питания «ИБП», на нем должен загореться зеленый светодиод;

4.6.

На экране монитора появится мнемосхема установки (рис. 1).

Рис. 1

4.7. Для отключения питания установки необходимо:

- С помощью ключа открыть стеклянную дверцу контроллера «ROBO-2000» и выключить кнопку «POWER»;

- дождаться, пока экран монитора погаснет;

- выключить источник бесперебойного питания «ИБП»;

- выключить автомат«~380В, 50Гц» шкафа управления;

- отключить силовое питание на установку, желтые индикационные лампы слева от автомата должны погаснуть.

12 3 4 5 Следующая ⇒