Архитектура Аудит Военная наука Иностранные языки Медицина Металлургия Метрология
Образование Политология Производство Психология Стандартизация Технологии


Травление меди с пробельных мест.



Травление меди – сложный окисли­тельно-восстановительный процесс, в котором окислителем является тра­вильный раствор, переводящий медь из металлического состояния в ионное. Выбор травильных растворов зависит от следующих факторов:

· типа приме­няемого резиста;

· типа оборудования, обеспечивающего высокую производи­тельность и экологическую защищен­ность процесса травления;

· допустимой величины коэффициента подтравлива­ния;

· оптимальной скорости травления.

Промышленность использует тра­вильные растворы на основе:

· хлорного железа,

· персульфата аммония,

· хлор­ной меди,

· смеси хромового ангидрида и серной кислоты,

· перекиси водорода,

· хлорита натрия (щелочные растворы).

Выбор травильного раствора опреде­ляется типом применяемого резиста, скоростью травления, ве­личиной бокового подтравливания, сложностью оборудования, возможно­стью регенерации и экономичностью всех стадий процесса.

Скорость травления оказывает су­щественное влияние на качество фор­мируемых элементов ПП. При малых скоростях время травления увеличива­ется, что приводит к ухудшению ди­электрических свойств основания и увеличению бокового подтравливания. Оно возникает вследствие того, что травитель также взаимодействует с боковой поверхностью проводников. Вследствие этого уменьшается их то­конесущая способность и прочность сцепления с диэлектриком.

Величина подтравливания характери­зуется коэффициентом k, представляю­щим собой отношение глубины трав­ления h кбоковому подтравливанию с (рис. 2.11):

 

 

а) б)

Рис.2.11.Формы поперечного сечения проводни­ков до (а)

и после (б) травления:

1 - резист, 2 - проводник, 3 - основание платы

 

Наибольшее применение получили травильные растворы на основе хлорно­го железа (плотностью 1, 36 – 1, 42 г/см2) благодаря высокой и равномерной скорости травления, малой величине бокового подтравливания, низкой токсичности. Состав:

500 г/л FeCl3; 4–6% НС1; режимы травления: Т=(35–50)°С, перемешивание. Раство­рение меди идет по реакции:

 

2FeCl3 + Сu = 2FeCI2 + СuС12.

 

Скорость травления в свежем рас­творе до 40 мкм/мин, затем снижается до 5 мкм/мин. Недостатки:

· большое подтравливание,

· непригодность для металлических резистов типа Sn–Рb,

· сложность утилизации, трудность от­мывки осадка на платах, высокая стоимость.

Технология регенерации хлорного железа достаточно сложна. Сначала из электролита удаляется медь путем контактного осаждения на стальные стружки. После этого вводится окис­литель для перевода Fe2+ в Fe3+ и проводится корректировка содержа­ния FeCl3 до требуемого количества. Регенерацию осуществляют также про­дувкой газообразным хлором:

 

2FeCl2 + С12 = 2FeCl3.

 

Процесс травления организуется таким образом, чтобы химическое воздействие травителя на травящийся материал осуществлялось в оптималь­ном режиме. Травильные установки должны обеспечивать:

· температурную стабильность процесса;

· перемещение заготовки и подачу травителя в зону обработки;

· аэрацию (разбрызгивание) травителя;

· удаление травителя, про­мывку, нейтрализацию и сушку плат; непрерывный процесс при массовом производстве.

Различают травильные установки, работающие по принципу:

· погруже­ния,

· центрифугирования и разбрызги­вания.

Более производительны уста­новки с разбрызгиванием травильного раствора на одну или обе стороны плат (рис. 2.12).

 

 

Рис 2.12.Схема установки струйного травления:

1 - ванна, 2 - транспортер, 3 - заготовка, 4 - разбрызги­ватель,

5-травитель, 6 - регенератор, 7-насос

 

Платы с помощью транспортною устройства перемеща­ются из одной технологической зоны в другую. Давление в форсунках нахо­дится в пределах 0, 1 – 0, 5 МПа, а струя подается либо перпендикулярно к по­верхности платы, либо под неболь­шим углом. Постоянное обновление окислителя в зоне обработки и удале­ние продуктов реакции обеспечивают высокую производительность, а соот­ветствующая траектория струи – не­значительное боковое подтравливание. Линии компонуются из модулей травления, промывки, сушки и реге­нерации. Автоматические модульные линии оснащаются устройствами для контроля кислотности раствора, тем­пературы и давления в форсунках.

 


Поделиться:



Популярное:

  1. IV. Должности младшего медицинского и фармацевтического персонала
  2. IV. ОСНОВЫ МЕДИЦИНСКОЙ ГЕНЕТИКИ
  3. Анализ комедии Аристофана «Лягушки» (см. 13)
  4. Анализ особенностей профессиональной деятельности медицинской сестры при гастроэзофагеальной рефлюксной болезни
  5. Антивоенные комедии Аристофана («Мир», «Лисистрата»).
  6. Асаны. Предмедитативные упражнения
  7. В должностные обязанности медицинской сестры входит контроль за соблюдением пациентом диеты, который строго исполняется.
  8. В жанре комедии написаны пьесы Шекспира -
  9. В чем же особенность подхода тибетской медицины к своему объекту - к человеку?
  10. В чём спонтанная медитация с голосом. Спонтанно не доказывая, быть, хоть ничего не делаешь – быть.
  11. В этом основной смысл медитации: помочь вам выбраться из ума, помочь вам выбраться из различающего сознания и проложить дорогу, по которой вы могли бы войти в свидетельствующее сознание.
  12. Вопрос 35. Специфика и функции современной профессиональной этики в медицине.


Последнее изменение этой страницы: 2016-05-30; Просмотров: 859; Нарушение авторского права страницы


lektsia.com 2007 - 2024 год. Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав! (0.014 с.)
Главная | Случайная страница | Обратная связь