Параметры удельного газовыделения конструкционных материалов

Материал	Удельное газовыделение, Па× м3/кг	Скорость удельного газовыделения, Па× м3/(м2× с)	Температура, °С / (вакуумн. обр., ч)
Вольфрам	-	1, 3× 10-6
0, 02 - 0, 04	-
Латунь	-	3, 1× 10-5
Медь	4, 22× 10-2	(0, 64-1, 95) × 10-4
	(0, 1-9, 3) × 10-9	400/15
5, 25× 10-2
8, 29× 10-2
Молибден	7, 1× 10-2
1, 68× 10-1
2, 43× 10-1
3, 76× 10-1
0, 80
	9, 3× 10-6	25/1
Никель	2, 14× 10-1
4, 58× 10-1
5, 11× 10-1
6, 58× 10-1
0, 8
	8× 10-6	25/1
Алюминий		(4-9) × 10-6	25/2
Тантал		6× 10-6
	1, 2× 10-5	25/1

 

Продолжение таблицы 3
Материал	Удельное газовыделение, Па× м3/кг	Скорость удельного газовыделения, Па× м3/(м2× с)	Температура, °С / (вакуумн. обр., ч)
Ковар	5× 10-2
1, 47× 10-1
0, 384
1, 369
Дюралюминий		5, 57× 10-4	25/1
	1, 9× 10-4	25/5
Фторопласт		1× 10-4
	7× 10-5	25/3
Полиэтилен		4× 10-5	25/3
Тефлон		6, 6× 10-5	25/1
Плексиглаз		1, 3× 10-5	25/1
Стали
	8, 8× 10-4	4× 10-4
конструкционная		1, 3× 10-7
хромированная		10-8 – 10-10	450/15
1Х18Н10Т	2, 72× 10-1
3, 57× 10-1
нержавеющая	3, 7× 10-2	4× 10-5
Стекла
С 49-2	4× 10-1
С 87-1	5, 33× 10-1
С 48-1	8, 0× 10-1
С 48-3	6, 7× 10-1
П-15	4, 65× 10-1
Резины
		5, 3× 10-5
		2, 7× 10-5
ИРП-1015		2, 4× 10-4
ИРП-1368		4, 4× 10-4
ИРП-2043		2, 7× 10-4
Вакуумная необработанная		1, 0× 10-2

 

 

Таблица 4

Коэффициенты, характеризующие процесс газопроницаемости материалов

Материал	Газ	j	Kо, м3·Па·м/(Па1/j·м2·с)	Епр, Дж/моль
Алюминий	Водород		3, 6·10-2	3, 60·105
Железо	Водород Азот Оксид углерода		1, 4·10-4 3, 8·10-4 1, 1·10-4	8, 04·104 1, 99·105 1, 56·105
Каучук	Водород Азот Кислород Гелий		5, 1·10-5 1, 5·10-5 1, 0·10-5 1, 5·10-6	2, 98·104 2, 72·104 3, 14·104 2, 72·104
Кварц	Водород Гелий Азот		2, 2·10-10 3, 2·10-9 1, 2·10-7	3, 60·104 2, 28·104 9, 24·104
Медь	Водород		2, 0·10-4	1, 39·105
Никель	Водород		3, 0·10-3	1, 15·105
Палладий	Водород		1, 2·10-3	8, 88·104
Платина	Водород		1, 0·10-3	1, 51·104
Серебро	Кислород		3, 4·10-3	1, 89·105
Резина 7889	Азот		3, 6·10-7	2, 60·105
Полиэтилен	Азот Кислород Водород Гелий Аргон		9, 0·10-13 3, 0·10-12 8, 2·10-12 5, 7·10-12 2, 7·10-12
Полистирол	Кислород Водород Гелий		5, 1·10-13 1, 3·10-11 1, 3·10-11
Фторпласт 4	Азот Кислород		1, 0·10-9 1, 0·10-9
Резины: 7880 ИРП-1015 ИРП-1368 ИРП-2043	Воздух		1, 0·10-5
9, 0·10-7
5, 0·10-7
3, 0·10-4
5, 0·10-7

 

 

Таблица 5

Теплофизические свойства огнеупорных и теплоизоляционных материалов

Изделие	Плот-ность, кг/м3	Коэффициент теплопроводности, Вт/(м*К)	Рабочая температура, °С	Теплоемкость, кДж/(кг К)
Алюмохромфосфатный газобетон	М-600		0, 163+2, 8× 10-4t		-
М-400		0, 093+3, 0× 10-4t		-
Асбестовый картон		0, 16+1, 7× 10-4t		0, 837
Вермикулит	0, 150-0, 25	0, 072+2, 6× 10-4t	900-1000	1, 03
Вермикулитовые плиты	350-400	0, 08+1, 5× 10-4t		1, 15
Вермикулитофосфат-ные изделия	400-500	0, 105+1, 8× 10-4t		-
Высокоглиноземистые		2, 1-6, 2× 10-4t		0, 837+2, 6× 10-4t
	0, 86+0, 8× 10-4t
Гранулированный фосфозит	500-600	0, 265+0, 8× 10-4t		-
Диатомитовые		0, 27+2, 3× 10-4t		0, 83-0, 92 t
	0, 17+3, 5× 10-4t
Диатомитовые засыпки		0, 1+2, 8× 10-4t		1, 0
Динасовые		1, 07+9, 3× 10-4t	1650-1700	0, 795+33, 5× 10-4t
	0, 58+4, 3× 10-4t
Карбидокремниевые	2000-2500	5, 2-1, 3× 10-3t	1400-1450	0, 96+1, 4× 10-4t
Керамовермикулитовые		0, 085+2, 1× 10-4t		0, 8
Кирпич пеношамотный		0, 10+1, 45× 10-4t		0, 24+2, 0× 10-4t
Корундовые	600-2900	2, 1+2, 15× 10-3t	1600-1700	0, 419+8, 8× 10-4t
Легковесный динасовый кирпич		0, 47+2, 57× 10-4t		-
Магнезитовые	300-2700	4, 65-1, 7× 10-3t	1650-1700	0, 942+2, 5× 10-4t
Магнезитохромитовые	700-2500	4, 0-8, 2× 10-4t		-
Минераловатный войлок		0, 093+2, 6× 10-4t		-

 

 

Продолжение таблицы 5
Изделие	Плотность, кг/м3	Коэффициент теплопроводности, Вт/(м*К)	Рабочая температура, °С	Теплоемкость, кДж/(кг К)
Минеральная вата		0, 047+5, 8× 10-3		0, 921
Муллитовые	200-2900	2, 96-1, 1× 10-3t		0, 87+1, 3× 10-4t
Муллитокремнеземи-стое волокно		0, 034+2, 6× 10-4t		0, 94
Периклазошпинеле-вые		2, 5-5, 8× 10-4t		0, 775+3, 0× 10-4t
Перлитовые	200-250	0, 068+0, 9× 10-4t		0, 84
Плиты перлитоасбестокаоли-новые	300-400	0, 078+2, 3× 10-4t		-
Полукислый кирпич		0, 85+4, 0× 10-4t	1250-1400	0, 88+2, 3× 10-4t
0, 47+5, 1× 10-4t
Псевдодиатомитовые		0, 0778+3, 2× 10-4t		-
Совелит	230-250	0, 09+8, 7× 10-4t		-
Совелитовые плиты	400-450	0, 079+1, 86× 10-4t	450-500	-
Трепел в порошке		0, 1046		-
Угольные	350-1600	23, 2+3, 5× 10-4t		0, 837-1, 2t
Форстеритовые		5, 3-1, 1× 10-3t		-
Фосфокерамзитобетонные		0, 314+2, 4× 10-4t		-
Фосфоперлитовые	200-300	0, 067+1, 2× 10-4t		-
Хромомагнезитовые		2, 0-8, 5× 10-4t		0, 754+1, 5× 10-4t
Шамотноволокнистые плиты		0, 13+1, 0× 10-4t		0, 058+1, 7× 10-4t
Шамотные		1, 04+1, 5× 10-4t	1350-1500	0, 837+2, 6× 10-4t
0, 7+6, 4× 10-4t
	0, 61+1, 8× 10-4t
	0, 28+2, 3× 10-4t
	0, 21+4, 3× 10-4t
Шамотные засыпки		0, 23+4, 9× 10-4t		1, 17
Шлаковая вата		0, 065+3, 5× 10-4t		0, 88
200-250	0, 058+1, 6× 10-4t

 

Литература

 

1. Теория, конструкции и расчеты металлургических печей: учеб. / под ред. В.А. Кривандина. - 2-е изд., перераб. и доп. - В 2-х т., Т. 2. Б.С. Мастрюков. Расчеты металлургических печей. - М.: Металлургия, 1986. - 376 с.

2. Розанов Л.Н. Вакуумная техника: учеб. / Л.Н. Розанов. – 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1990. - 320 с.

3. Смоляг Н.Л. Технология электрохимических производств: учеб. –метод. пособие / Н.Л. Смоляг. – Минск: БГТУ, 2007. – 98с.

4. Технология полупроводников: метод. указания для студентов специализации 1-48 01 01 13 «Химическая технология материалов квантовой и твердотельной электроники» / Н.В. Богомазова, И.М. Жарский. - Минск: БГТУ, 2007. - 46 с.

5. Мурашкевич А.Н. Оборудование производств материалов и изделий электронной техники: учеб. пособие / А.Н. Мурашкевич, И.М. Жарский. - Минск: БГТУ, 2005. – 242 с.

6. Тэхналагiчныя працэсы i апараты галiны: метадычныя ý казаннi для студэнтаý вочнай i завочнай форм навучання спецыяльнасцi Т. 11.03.00 / Дз.Р. Калiшук, М.П. Саевiч; пад агул. рэд. Дз.Р. Калiшука. – Мiнcк: БГТУ, 2001. – 51 с.

7. Новый справочник химика и технолога. Процессы и аппараты химических технологий. - Ч. II. – СПб.: НПО «Профессионал», 2006. – 916 с.

8. Пичугин И. Г. Технология полупроводниковых приборов: учеб. пособие / И.Г. Пичугин, Ю.М. Таиров. - М.: Высшая школа, 1984. - 288 с.

9. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: справ. / З.Ю. Готра. – М.: Радио и связь, 1991. – 528 с.

10. Киреев, В.Ю. Технология микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы /В.Ю. Киреев, А.А. Столяров. – М.: Техносфера, 2006. – 192 с.

11. Кудинов В.В. Нанесение покрытий напылением. Теория, технология и оборудование: учеб. / В.В.Кудинов, Г.В. Бобров. - М.: Металлургия, 1992. - 432 с.

12. Технология СБИС / Под ред. Зи С. - В 2-х кн. - М.: Мир, 1986.

13. Моро У. Микролитография. Принципы, методы, материалы / У. Моро. - М.: Мир, 1990. - 368 с.

14. Турцевич, А.С. Пленки поликристаллического кремния в технологии производства интегральных схем и полупроводниковых приборов / А.С. Турцевич, Л.П. Ануфриев. - Минск: Бел. наука, 2006. - 232 с.

15. Горлов М.И. Технологические отбраковочные и диагностические испытания полупроводниковых изделий / М.И. Горлов, В. А. Емельянов, Д.Л. Ануфриев. - Минск: Бел. наука, 2006. - 367 с.

16. Нанотехнологии в электронике / под ред. Ю.А. Чаплыгина. - М.: Техносфера, 2005. - 446 с.

17. Химическая обработка в технологии ИМС / В.П. Василевич, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович, Ю.А. Родионов. – Полоцк: ПГУ, 2001.– 260с.

18. Поляков А.А. Технология керамических радиоэлектронных материалов / А.А. Поляков. - М.: Радио и связь, 1989. - 200 с.

19. Окадзаки К. Технология керамических диэлектриков / К. Окадзаки. - М.: Энергия, 1976. - 336 с.

20. Рез И.С. Диэлектрики. Основные свойства и применение в электронике / И.С. Рез, Ю.М. Поплавко. - М.: Радио и связь, 1989. - 288 с.

21. Технология производства материалов магнитоэлектроники / под ред. Л.М. Летюка. - М.: Металлургия, 1994. - с.

22. Ротенберг Б.А. Керамические конденсаторные диэлектрики / Б.А. Ротенберг. - СПб.: Типография ОАО НИИ «Гириконд», 2000. – 246 с.

23. Блистанов А.А. Кристаллы квантовой и нелинейной оптики: учеб. пособие / А.А. Блистанов. – М.: МИСИС, 2000. – 432 с.

24. Поплавский В.В. Техника высокого вакуума: учеб. пособие / В.В. Поплавский. - Минск: БГТУ, 2001. – 363 с.

25. Левицкий И.А. Расчет тепловых процессов, установок и агрегатов керамического производства: учеб. пособие / И.А. Левицкий. – Минск: БГТУ, 2003. – 163 с.

26. Свенчанский А.Д. Электрические промышленные печи: учеб. в 2-х ч. / Ч. 1. А.Д. Свенчанский. Электрические печи сопротивления. - М.: Энергия, 1975. - 384 с.

27. Тимонин А.С. Основы конструирования и расчета химико-технологического и природоохранного оборудования: справ. в 3-х т. / А.С. Тимонин. – Калуга: из-во Н.Б. Бочкаревой, 2002. - т. 1 – 852 с., т.2 – 968 с., т. 3 – 1028 с.

28. Блинов И.Г. Оборудование полупроводникового производства: учеб. пособие / И.Г. Блинов, Л.В. Кожитов. - М.: Машиностроение, 1986. - 264 с.

29. Сиденко П.М. Измельчение в химической промышленности / П.М. Сиденко. – 2-е изд., перераб. - М.: Химия, 1977. - 362 с.

30. Тетеревков А.И. Оборудование заводов неорганических веществ и основы проектирования: учеб. пособие /А.И. Тетеревков, В.В. Печковский. - Минск: Выш. школа, 1981. - 254 с.

31. Standard thermodynamic properties of chemical substances // CRC PRESS LLC, 2000 – P.57

32. Васильев, В.П. Термодинамические свойства соединений A^IIIB^V / В.П. Васильев, Ж.-К. Гашон // Неорган. мат. – 2006. – Т.42. №11. – С.1293‑ 1303.

33. Бухмиров, В.В. Справочные материалы для решения задач по курсу «Тепломассообмен» / В.В. Бухмиров, Д.В. Ракутина, Ю.С. Солнышкова. – Иваново: ГОУ ВПО «Ивановский государственный энергетический университет имени В.И. Ленина», 2009. – 102 с.

34. Плисковский, В.Я. Конструкционный материалы и элементы вакуумных систем. / В.Я. Плисковский. – М.: «Машиностроение», 1976. – 64 с.

35. Плотников, Ю.Д. Методические указания по выполнению курсовой работы на тему «Расчет вакуумной системы». / Ю.Д. Плотников. – М.: МГИЭиМ, 2005. – 29 с.

36. Сезоненко, А.Ю. Сплавы для нагревательных элементов для электропечей сопротивления, промышленных и бытовых нагревателей – замена нихромов и фехралей / А.Ю. Сезоненко // ИТБ " Литьё Украины". – 2007. – Т.78. №2.

37. Волков А.И. Большой химический справочник / А.И. Волков, И.М. Жарский. – Мн.: Современная школа, 2005. – 608с.

38. Вакуумная техника: Справочник / Е.С. Фролов [и др.]; под общ. ред. Е.С. Фролова. – М.: Машиностроение, 1992. – 480 с.

39. Технология изделий интегральной электроники / Л.П. Ануфриев [и др.]; под общ. ред. А.П. Достанко и Л.И. Гурского. – Мн.: Амалфея, 2010. – 536 с.

40. Витязь, П.А. Основы нанотехнологий и наноматериалов: учебное пособие / П.А. Витязь, Н.А. Свидунович. – Мн.: Выш. шк., 2010. – 302 с.

41. Экономическое обоснование дипломных проектов: учебн. –метод. пособие для студентов заочной формы обучения специальности 1-48 01 01 «Химическая технология неорганических веществ, материалов и изделий» / сост. Л.А. Сюсюкина, Е.И. Сидорова. – Мн.: БГТУ, 2006. – 60 с.

 

ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие
1. Методические указания к выполнению курсовых проектов (РАБОТ)
1.1. Тематика курсовых проектов
1.2. Указания к выполнению технологической курсовой работы
1.2.1. Общие указания
1.2.2. Аналитический обзор литературы
1.2.3. Инженерные решения
1.2.4. Технологический раздел
1.2.4.1. Структура и содержание
1.2.4.2. Указания по проведению технологических расчетов
1.2.5. Контроль качества продукции и метрологическое обеспечение технологии
1.2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
1.3. Курсовой проект по оборудованию и основам проектирования производств материалов и изделий электронной техники
1.3.1. Обоснование выбора типа аппарата
1.3.2. Технологический расчет аппарата
1.3.3.Конструирование электропечей сопротивления
1.3.4. Расчет электропечей сопротивления
1.3.5. Конструирование нагревательных элементов
1.3.5.1. Рекомендации по выбору материалов
1.3.5.2. Конструкции металлических нагревателей
1.3.5.3. Конструирование не металлических нагревателей
1.3.5.4. Нагреватели из тугоплавких металлов
1.3.6. Расчет нагревательных элементов
1.3.6.1. Расчет металлических нагревателей
1.3.6.2. Расчет карборундовых нагревателей
1.3.6.3. Расчет нагревателей из дисилицида молибдена
1.3.7. Расчет вакуумной системы
1.4. Графическая часть проекта
2. ВЫПОЛНЕНИЕ ДИПЛОМНЫХ ПРОЕКТОВ (РАБОТ)
2.1. Тематика дипломных проектов (работ)
2.2. Структура дипломных проектов (работ)
2.3. Технологический раздел

 

2.4. Автоматизация производства
2.5. Контроль качества и метрологическое обеспечение производства
2.6. Мероприятия по охране окружающей среды
2.7. Мероприятия по охране труда и безопасности жизнедеятельности
2.8. Экономический раздел
Приложение I
Приложение II
Литература

 

 

 

 

ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
КВАНТОВОЙ И ТВЕРДОТЕЛЬНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ

Составители: Мурашкевич Анна Николаевна

БогомазоваНаталья Валентиновна

Алисиенок Ольга Александровна

 

 

Редактор

Подписано в печать. 0. 2014. Формат 60´ 84 ¹/₁₆.

Бумага офсетная. Гарнитура Таймс. Печать офсетная.

Усл. печ. л. Уч.-изд. л.

Тираж 30 экз. Заказ

Учреждение образования «Белорусский государственный
технологический университет». 220050. Минск, Свердлова, 13а.

ЛИ № 02330/0133255 от 30.04.2004.

Отпечатано в лаборатории полиграфии учреждения образования

«Белорусский государственный технологический университет».

220006. Минск, Свердлова, 13.

ЛП № 02330/0056739 от 22.01.2004.

⇐ Предыдущая567891011121314

Поделиться:

Популярное:

1. Автоматизация учета использования материалов в СПК колхоз «Восход»
2. Акриловые материалы холодного отверждения. Классификация эластичных базисных материалов. Сравнительная оценка полимерных материалов для искусственных зубов с материалами другой химической природы.
3. Анализ использования материальных ресурсов в производстве, соблюдение норм расхода материалов
4. Влияние дисперсного состава и формы частиц на оптические свойства пигментированных лакокрасочных материалов
5. Влияние объемного содержания пигментов на оптические свойства композиционных материалов
6. Выдача в производство материалов, комплектующих изделий и полуфабрикатов
7. Геометрические параметры режущей части фрез для обработки пластмасс.
8. Глава I. Определение облигации: цели выпуска, основные характеристики и параметры
9. Графические обозначения материалов в сечениях
10. Групповая динамика и основные параметры малой группы
11. Дальский А.М. и др. Технология конструкционных материалов. М., 1985.
12. ДРЕВЕСИНЫ И ДРЕВЕСНЫХ МАТЕРИАЛОВ.